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本發(fā)明提出一種亞波長矩形單周期光柵結構的制作方法，其用于制作可實現偶數分束的亞波長矩形單周期光柵結構，其包括如下步驟：S11、確定入射波波長和光柵基底的材料的折射率；S13、根據目標偶數分束數構建評價函數；S15、利用嚴格耦合波理論和全局優(yōu)化算法，結合所述評價函數，優(yōu)化獲得所述亞波長矩形單周期光柵結構的脊寬、槽寬及深度；S17、根據所述脊寬、所述槽寬及所述深度，制作所述亞波長矩形單周期光柵結構。獲得的亞波長矩形單周期光柵結構可對不同的入射波波長實現較為理想的偶數分束效果；同時，具有所述亞波長矩形單周期光柵結構的偶數分束器可有效地實現偶數分束，且其為周期性矩形結構，易于生產復制，實用性強。

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