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本發(fā)明屬于光學(xué)三維數(shù)字成像技術(shù)領(lǐng)域，提供了一種相位測(cè)量輪廓術(shù)的gamma非線(xiàn)性校正方法、系統(tǒng)。本發(fā)明結(jié)合經(jīng)典的最小二乘相移解相位法和投影?成像裝置的gamma模型，推導(dǎo)一種相位測(cè)量輪廓術(shù)測(cè)量系統(tǒng)的通用相位誤差分布模型，進(jìn)而基于該相位誤差分布模型提出一種高效、高精度、高魯棒性的gamma非線(xiàn)性校正方法和系統(tǒng)。該方法和系統(tǒng)有利于進(jìn)一步深入的理論推導(dǎo)和系統(tǒng)誤差分析，適用于任何步數(shù)的相移法和相應(yīng)的測(cè)量要求，滿(mǎn)足高速、高精度、高普適性的基于相位測(cè)量輪廓術(shù)的三維數(shù)字成像和測(cè)量的要求。

方法過(guò)程>其它方法過(guò)程>輪廓伽馬非線(xiàn)性校正方法; 方法過(guò)程>操作方法>相位檢測(cè)操作