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一種電極制備方法、電極部件和特種加工平臺，其中，所述制備方法包括：將用于制備電極的基底固定在加工平臺上；向基底的待成形區(qū)域提供原料氣體；向基底的待成形區(qū)域照射聚焦離子束，以在待成形區(qū)域生長電極。相對于現(xiàn)有技術(shù)中磨、削等方式制備電極，一方面采用聚焦離子束的方式制備電極，能夠提高電極精度，通常聚焦離子束的精度能夠達到納米級；另一方面，由于采用生長的方式制備電極，相對于磨削等摒棄多余原料的方式，能夠更有效地利用原料，從而節(jié)省了電極制備成本。此外，采用生長式制備電極，可制備具有復(fù)雜形狀的三維電極，進行較為復(fù)雜的三維加工。

方法過程>制備方法>制備; 電力動力>電極>三維電極