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本發(fā)明公開了基于微全息陣列的波前傳感器、波前探測(cè)方法及系統(tǒng)，其中，所述基于微全息陣列的波前探測(cè)方法通過創(chuàng)建同時(shí)具有微透鏡陣列成像和雙螺旋點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)功能的微全息陣列；待測(cè)波前經(jīng)過所述微全息陣列在其后焦面上得到雙螺旋點(diǎn)陣圖；根據(jù)所述雙螺旋點(diǎn)陣圖獲得波前斜率值，對(duì)所述波前斜率值進(jìn)行波前重構(gòu)，得到待測(cè)的波前信息，通過將待測(cè)波前經(jīng)過微全息陣列后，在其后焦面上得到雙螺旋形式的點(diǎn)陣圖，當(dāng)微全息陣列后焦面的像點(diǎn)存在離焦時(shí)，雙螺旋點(diǎn)會(huì)按一定規(guī)律旋轉(zhuǎn)而不會(huì)想高斯點(diǎn)一樣明顯擴(kuò)大，因此能抑制波前離焦誤差對(duì)于重構(gòu)精度的影響，當(dāng)樣品發(fā)生軸向位移時(shí)依然能夠得到高的探測(cè)精度，在保證探測(cè)精度的前提下提高了傳感器軸向的探測(cè)范圍。

測(cè)量實(shí)驗(yàn)>檢測(cè)方法>波前檢測(cè)方法; 計(jì)算控制>陣列>微全息陣列