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本發(fā)明揭示了一種薄片隊列微電極微細(xì)電火花加工方法及裝置，薄片隊列微電極包括多個依次隊列排列的薄片微電極，在集膚效應(yīng)的影響下，薄片微電極的加工端面被損耗為外凸弧形；薄片隊列微電極微細(xì)電火花加工方法包括：通過薄片隊列微電極上的薄片微電極依次對工件上與薄片微電極一一相應(yīng)的位置進(jìn)行微細(xì)電火花加工，在加工面上形成擬合表面。其中薄片隊列微電極微細(xì)電火花加工方法中充分利用在常規(guī)薄片微電極的加工端面的圓角損耗特點，用以有效消除三維微結(jié)構(gòu)表面的臺階效應(yīng)，從而提高加工后擬合面的精度。消除三維微結(jié)構(gòu)的臺階效應(yīng)和平面特征擬合表面的圓角放電痕。

方法過程>加工方法>加工方法; 生物(體)>植物組織>片狀陣列微電極電火花