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本發(fā)明公開了一種石墨烯納晶碳膜接觸電特性的測試裝置及方法，其中，所述裝置包括層疊設(shè)置的金屬底座、P型硅基片、石墨烯納晶碳膜，以及與所述石墨烯納晶碳膜可接觸的導(dǎo)電探針，所述金屬底座和所述石墨烯納晶碳膜通過導(dǎo)電銀漿電連接，所述導(dǎo)電探針與金屬底座電連接。本發(fā)明基于導(dǎo)電探針與石墨烯納晶碳膜在不同的接觸階段，采用定壓模式和變壓模式對石墨烯納晶碳膜分別進行接觸電特性測試，測得相應(yīng)的電特性數(shù)據(jù)。通過對石墨烯納晶碳膜接觸電特性進行測試發(fā)現(xiàn)，石墨烯納晶碳膜的平均納晶尺寸越大呈現(xiàn)出更好的導(dǎo)電性能，對石墨烯納晶碳膜在微納器件的表面應(yīng)用具有重要意義。

測量實驗>測試設(shè)備>石墨烯納米碳膜接觸電學(xué)特性測試裝置