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一種三維微結構加工方法及三維微結構
成果領域:
推廣方式:
成果歸屬企業(yè): 深圳大學
成果鑒定時間:
成果介紹
本實用新型公開了一種光纖端面微懸臂梁傳感器,光纖端面微懸臂梁傳感器包括:光纖;懸臂梁結構,通過飛秒激光雙光子聚合技術聚合在所述光纖的一端面;所述懸臂梁結構為聚合物結構,懸臂梁結構包括支柱和微懸臂梁;微懸臂梁與光纖的端面平行。本實用新型通過飛秒激光雙光子聚合技術制備的光學端面微懸臂梁為聚合物材料,彈性比硅基材料大,可以極大地增大探測靈敏度;制備方法屬于增材制造,實現光纖與懸臂梁的一體化,結構緊湊;對光纖本身不造成任何損傷或破壞;同時節(jié)省了加工時間,使制造方式更具靈活性。本實用新型提出的用飛秒激光雙光子聚合技術固化出的光纖端面微懸臂梁具有小尺寸、高彈性的特點,其可應用于多領域。
成果應用案例介紹
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