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本實(shí)用新型屬于微細(xì)電解加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種微細(xì)電解加工電極及其加工方法、微細(xì)電解加工裝置，該微細(xì)電解加工電極包括多個(gè)電極片，電極片依次疊層設(shè)置并形成電極片組件，電極片組件內(nèi)有多個(gè)電極片的一端上設(shè)有用于加工工件的二維微結(jié)構(gòu)，各二維微結(jié)構(gòu)一一對(duì)應(yīng)設(shè)置并圍設(shè)形成與工件上三維微結(jié)構(gòu)的形狀相適配的三維腔室；電極片組件內(nèi)有一個(gè)或者多個(gè)電極片的表面上開設(shè)有流通槽，流通槽的第一端延伸出對(duì)應(yīng)的電極片外，流通槽的第二端與三維腔室連通。該微細(xì)電解加工電極，促進(jìn)了加工區(qū)域內(nèi)電解液的及時(shí)更新和電解產(chǎn)物的快速排出，避免在加工復(fù)雜微結(jié)構(gòu)表面出現(xiàn)“死水區(qū)”，可以滿足大深度三維微結(jié)構(gòu)的高效穩(wěn)定加工使用要求。

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